低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子廢氣處理設備在產生低溫等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；等離子體中包含大量的高能電子，正負離子，激發態粒子和具有強氧化性的自由基，它使活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發狀態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子構成無害氣體分子。同時產生的大量OH、O等活性基和氣化性極強的O 3 ，與有害氣體分子發生化學反應，最終生成無害產物。低溫等離子廢氣處理設備應用范圍比較廣，介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以將所有的異味氣體分子降解，可應用于醫藥加工、橡膠塑料廢氣、油墨涂料廢氣、飼料和肥料加工廠、重油廢氣、各類污水處理廠等諸多行業存在的有機廢氣、異味、惡臭等污染問題。